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潔凈室涂布機(jī)使用操作方法

1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。

2. 將涂布機(jī)的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。

3. 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間，本機(jī)型為二段式加速的Spin Coating，右邊為第一段加速，左邊為第二段加速。

4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤做涂布的動(dòng)作。

5. 按下【PUMP】鍵，此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當(dāng)?shù)牧?，在做光阻涂開動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤周圍及基材吹乾凈。

6. 蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋，以防止光阻濺出涂布機(jī)外。

7. 按下【START】鍵，涂布機(jī)便開始做涂布的動(dòng)作。

8. 涂布完畢后，打開保護(hù)蓋，按下【PUMP】鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)放開基材，便可以將基材取出。

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