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美國(guó)聯(lián)邦209D/209E潔凈室分級(jí)及人體產(chǎn)生塵埃與活動(dòng)的關(guān)系
美國(guó)聯(lián)邦209D/209E潔凈室分級(jí)及人體產(chǎn)生塵埃與活動(dòng)的關(guān)系
潔凈室的分級(jí)：（美國(guó)聯(lián)邦209D潔凈室和209E潔凈室分級(jí)---看表）
分級(jí)的意義：1級(jí)：主要用在微電子工業(yè)（制造集成電路）
10級(jí)：半導(dǎo)體工業(yè)（制造集成電路）
100級(jí)：醫(yī)藥工業(yè)，手術(shù)室（包括醫(yī)藥工業(yè)中的無(wú)菌制造工藝， 外科手術(shù)，集成電
路制造，隔離治療病房，）
1000級(jí)：光學(xué)工業(yè)（高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)）
10000級(jí)：液壓設(shè)備和氣壓設(shè)備的裝配，食品飲料工業(yè)，萬(wàn)級(jí)醫(yī)藥工業(yè)中也很常用
100000級(jí)：電子工業(yè)，食品，醫(yī)藥
美國(guó)聯(lián)邦209D潔凈室分級(jí)
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分級(jí)數(shù)量，所測(cè)粒徑（大于或等于所示粒徑，單位?m） | |||||
分級(jí) | 0.1?m | ||||
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